根据新华社报道,国家重大科研装备研制项目「超分辨光刻装备研制」通过验收 ... 报道称,项目在原理上突破分辨力衍射极限,建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线,绕过国外相关知识产权壁垒 ... 光刻机是制造芯片的核心装备,它采用类似照片冲印的技术,把母版上的精细图形通过曝光转移至硅片上,一般来说,光刻分辨力越高,加工的芯片集成度也就越高。